IC載板在線式PLASMA--雙腔全自動、無接觸

產品特點:

可選配自動上下料/連線，避免人員接觸產品，全自動方式減少了人為因素,降低二次污染并節(jié)約了人力成本。

設備清洗后其表面活性明顯增強，均勻性和粘結力顯著提升。

支持單張自動掃碼，方便追溯，支持MES系統(tǒng)對接

機器人直接抓取，避免傳送污染

PLASMA（全名：易捷載板在線式PLASMA）是一種全自動、無接觸的裝載板處理系統(tǒng)。它是一項先進的技術，可以廣泛應用于半導體制造和其他高科技領域，為工業(yè)生產帶來了巨大的便利和效益。

PLASMA系統(tǒng)采用雙腔結構，包括清洗腔和處理腔。在整個處理過程中，載板完全不接觸機械設備，由機器人自動操作，避免了人為因素對產品質量的影響，提高了生產效率和產品一致性。

PLASMA系統(tǒng)的主要功能是清洗和處理載板。在清洗腔中，載板會經過高壓噴洗和噴射的清洗溶液，去除表面的雜質和污染物。清洗過程非常徹底，可以保證載板的清潔度要求，同時減少后續(xù)處理過程中的不良率。

在處理腔中，PLASMA系統(tǒng)會使用高能離子束或等離子體技術，對載板進行精細處理。離子束可以改變載板表面的化學和物理特性，使其具有更好的附著力、耐磨性和電導率等特點，提高了載板的性能。等離子體技術可以對載板進行表面活化處理，增強載板與其它材料的黏附力，提高產品的整體工藝性能。

PLASMA系統(tǒng)的優(yōu)點不僅在于其全自動、無接觸的特性，還在于其處理能力和穩(wěn)定性。系統(tǒng)采用先進的控制技術，能夠精確控制處理過程的各項參數，保證了處理效果的一致性。而且，PLASMA系統(tǒng)的處理腔具有高真空環(huán)境，可以確保載板在無塵的條件下進行處理，減少了載板的再次污染。

PLASMA系統(tǒng)的應用非常廣泛。在半導體制造領域，PLASMA系統(tǒng)可以用于清洗和處理半導體晶片的載板，提高晶片的質量和性能；在太陽能電池制造領域，PLASMA系統(tǒng)可以用于提高電池片的表面特性，提高電池的能量轉換效率；在平板顯示器制造領域，PLASMA系統(tǒng)可以用于清洗和處理液晶載板，提高顯示屏幕的清晰度和亮度。

總之，PLASMA（易捷載板在線式PLASMA）是一種先進的裝載板處理系統(tǒng)，采用雙腔結構，全自動、無接觸地進行載板清洗和處理。該系統(tǒng)具有高效、穩(wěn)定的性能，廣泛應用于半導體制造和其他高科技領域，為工業(yè)生產帶來了便利和效益。