微流體器件微流體裝置需要親水性的表面以便于分析物可以持續(xù)平緩的流經(jīng) 
微通道到達(dá)這些器械上的探測(cè)和處理位置。這種流動(dòng)可通過(guò)各種抽吸、電滲透、熱量、機(jī)械等方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。微射流器件由疏水性的聚合材料（丙烯酸、聚苯乙烯、聚二甲基硅氧烷（PDMS））制成。由這些材料的疏水性導(dǎo)致的一個(gè)主要問(wèn)題就是在微通道中捕集的氣泡抑制了液體的流動(dòng)。即便通道用酒精和緩沖液處理過(guò)，仍存在氣泡問(wèn)題。用等離子體處理可以氧化微通道的表面，使它們變成親水性，從而防止氣泡的形成。電動(dòng)抽吸時(shí)的表面電荷密度同樣會(huì)影響流動(dòng)速率。等離子體可以有效地促進(jìn)帶電表面的電滲透流動(dòng)。這是用等離子處理微流體器件的又一個(gè)好處。 
醫(yī)用導(dǎo)管-通過(guò)減少蛋白質(zhì)在導(dǎo)管上粘合來(lái)盡量減少凝血酶原，提高生物相容性。 
為了在提高體內(nèi)材料的生物相容性，必須解決凝血酶原（容易在表面凝結(jié)成血塊）的問(wèn)題。許多沒(méi)有被改性的材料會(huì)促進(jìn)蛋白質(zhì)的粘合進(jìn)而形成了血塊。為了解決這個(gè)問(wèn)題，經(jīng)常在體內(nèi)材料表面涂覆抗凝血酶涂層。可是有時(shí)候這些涂層不能很好的粘合在聚合物表面等離子清洗。等離子處理通過(guò)對(duì)表面進(jìn)行特殊的改性從而大大提高了這些涂層的結(jié)合力度。這是通過(guò)活化惰性表面來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這種處理的工藝取決于特定的基體材料、抗凝血酶的合成物以及期望的產(chǎn)品壽命。當(dāng)導(dǎo)管被植入到體內(nèi)后，血塊可能會(huì)繼續(xù)變大從而導(dǎo)致初期的導(dǎo)管移位。人們?cè)谶@個(gè)問(wèn)題上做了大量的工作，結(jié)果顯示等離子處理后的導(dǎo)管可以在原位上保持更長(zhǎng)的時(shí)間。動(dòng)物實(shí)驗(yàn)表明，經(jīng)過(guò)等離子處理并涂上肝磷脂涂層后的聚亞胺酯導(dǎo)管在體內(nèi)留置30天后沒(méi)有蛋白質(zhì)粘附在上面；經(jīng)過(guò)等離子處理但沒(méi)有肝磷脂涂層的聚亞胺酯導(dǎo)管上粘附了很少量的蛋白質(zhì)；而沒(méi)有經(jīng)過(guò)任何處理的聚亞胺酯導(dǎo)管上面形成了大量的血栓。
藥物輸送-解決藥物粘附在計(jì)量腔壁上的問(wèn)題 
帶有計(jì)量腔體的藥物輸送裝置不允許藥物粘附在其內(nèi)壁上。這樣可以確保藥物輸送過(guò)程的精確性。等離子可以在計(jì)量腔內(nèi)壁上涂敷一層很薄的碳氟涂層來(lái)確保其"不粘"性。通過(guò)等離子增加化學(xué)氣相沉積（PECVD）可以把這種涂層很容易的粘附在大多數(shù)材料表面的原理是在等離子體內(nèi)活化單體，誘導(dǎo)它們?cè)诨w的工作區(qū)域聚合。沉積涂層的表面性能取決于表面幾十納米的性質(zhì)。氣體等離子工藝通過(guò)在表面聚合碳氟化合物從而提供了一個(gè)值得信賴的、生物相容的、高可控性的綠色的降低材料表面活化能的方法。 
防止生物污染-提高體內(nèi)和體外醫(yī)療器械的生物相容性 
材料的表面能決定了浸潤(rùn)性、可印刷性、化學(xué)穩(wěn)定性和生物污染等性能。通常，高表面能的材料是親水性的，對(duì)細(xì)胞和蛋白質(zhì)等生物材料是可浸潤(rùn)的；低表面能的材料則表現(xiàn)出疏水和"不粘"的性質(zhì)。體內(nèi)和體外的醫(yī)療器械需要表面能夠阻止蛋白質(zhì)或細(xì)胞的粘附。重復(fù)使用的盛載生物廢料的容易必須能很容易的清空和清洗。這些例子說(shuō)明它們的表面需要提高"不粘"和抗生物污染性能。等離子體通過(guò)鍍上一層碳氟化合物或環(huán)氧乙烷涂層來(lái)產(chǎn)生抗生物污染層。通過(guò)等離子增加化學(xué)氣相沉積（PECVD）可以把這種涂層很容易的粘附在大多數(shù)材料表面的原理是在等離子體內(nèi)活化單體，誘導(dǎo)它們?cè)诨w的工作區(qū)域聚合。沉積涂層的表面性能取決于表面幾十納米的性質(zhì)。氣體等離子工藝通過(guò)在表面聚合碳氟化合物從而提供了一個(gè)值得信賴的、生物相容的、高可控性的綠色的降低材料表面活化能的方法。