ALD原子層沉積設(shè)備
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ALD（AtomicLayerDeposition）是一種通過(guò)原子層沉積技術(shù)在晶體表面逐層沉積原子薄膜的方法。ALD原子層沉積設(shè)備是用于實(shí)施ALD薄膜制備的關(guān)鍵設(shè)備，它通過(guò)控制反應(yīng)物流和氣體流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)在晶體表面逐層堆積原子以形成所需的薄
