20層垂直等離子設(shè)備
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20層垂直等離子設(shè)備--高產(chǎn)出、低成本產(chǎn)品特點(diǎn):1.采用上進(jìn)氣下抽氣的方式,專利的抽氣擋板保證優(yōu)良的均勻性。2.智能化系統(tǒng),實(shí)時(shí)顯示每PCS產(chǎn)品狀態(tài)。具有缺氣、壓力保護(hù)、電路保護(hù)等安全保護(hù)系統(tǒng)。3.電極板用整塊鋁板中間鏤空,冷卻通道采用深